Počet nalezených dokumentů: 14241
Publikováno od do

Nanopatterning of Silicon Nitride Membranes
Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Řiháček, Tomáš; Kolařík, Vladimír; Chlumská, Jana; Urbánek, Michal
2017 - anglický
Membranes are typically created by a thin silicon nitride (SIN) layer deposited on a silicon wafer. Both, top and bottom side of the wafer is covered by a thin layer of the silicon nitride. The principle of silicon nitride membranes preparation is based on the wet anisotropic etching of the bottom side of the silicon wafer with crystallographic orientation (100). While the basic procedure for the preparation of such membranes is well known, the nano patterning of thin membranes presents quite important challenges. This is partially due to the mechanical stress which is typically presented within such membranes. The resolution requirements of the\nmembrane patterning have gradually increased. Advanced lithographic techniques and etching procedures had to be developed. This paper summarizes theoretical aspects, technological issues and achieved results. The application potential of silicon nitride membranes as a base for multifunctional micro system (MMS) is also\ndiscussed. Klíčová slova: e-beam writer; silicon nitride membranes; nano patterning; anisotropic etching Plné texty jsou dostupné na jednotlivých ústavech Akademie věd ČR.
Nanopatterning of Silicon Nitride Membranes

Membranes are typically created by a thin silicon nitride (SIN) layer deposited on a silicon wafer. Both, top and bottom side of the wafer is covered by a thin layer of the silicon nitride. The ...

Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Řiháček, Tomáš; Kolařík, Vladimír; Chlumská, Jana; Urbánek, Michal
Ústav přístrojové techniky, 2017

Souhrnný report výsledků smluvního výzkumu mezi FZU AV ČR, v.v. i. a HVM Plasma s.r.o. za rok 2016
Mates, Tomáš; Fejfar, Antonín; Ledinský, Martin; Vetushka, Aliaksi; Pikna, Peter; Bauerová, Pavla
2017 - český
Několika diagnostickými metodami byly zkoumány vzorky ochranných vrstev na bázi DLC (Diamond-like-Carbon) na různých substrátech (testovací tělíska i reálné součástky). Pomocí Ramanovské spektroskopie byly vyhodnocovány vazby ve vzorcích pro bližší určení strukturních variací a povrchových modifikací, a to jak pro čerstvě připravené vzorky, tak zejména pro vzorky které prošly různými zátěžovými testy.\nSkenovacím elektronovým mikroskopem (SEM) byla zkoumána povrchová struktura vrstev v různých místech vzorků a vyhledávána vhodná testovací místa pro následnou analýzu pomocí Mikroskopu atomárních sil (AFM). Mikroskopem AFM ve speciálních režimech byly měřeny mapy lokálních mechanických vlastností (tření, adheze hrotu, disipace energie, atd.). Na vybraném vzorku byla metodou Focussed Ion Beam (FIB) analyzována struktura průřezu vzorku a dále bylo zdokumentováno prvkové složení v různých tloušťkách vrstvy metodou Energy-dispersive X-ray Spectroscopy (EDS).\n Samples of protective layers based on DLC (Diamond-like-Carbon) on different substrates (test bodies and real components) were studied by several diagnostic methods.\nRaman spectroscopy was used for the detection of bindings in order to specify the structural variations, surface modifications both for as-deposited samples and particularly for samples that underwent different stress tests.\nScanning Electron Microscope (SEM) was used to examine the surface structure of layers in different locations on the sample and to search suitable test spots for the subsequent analysis by the Atomic Force Microscope (AFM). AFM in special modes was employed to measure the maps local mechanical properties (friction, tip adhesion, energy dissipation, etc.).\nOn a selected sample, the cross-sectional structure of the sample was analysed by the Focussed Ion Beam (FIB) and the elemental composition in various thicknesses was documented by the Energy-dispersive X-ray Spectroscopy (EDS).\n Klíčová slova: diamond like carbon layers; Raman spectroscopy; Atomic Force Microscopy; Scanning Electron Microscopy; Focussed Ion Beam; Energy Dispersive Spectroscopy Plné texty jsou dostupné na jednotlivých ústavech Akademie věd ČR.
Souhrnný report výsledků smluvního výzkumu mezi FZU AV ČR, v.v. i. a HVM Plasma s.r.o. za rok 2016

Několika diagnostickými metodami byly zkoumány vzorky ochranných vrstev na bázi DLC (Diamond-like-Carbon) na různých substrátech (testovací tělíska i reálné součástky). Pomocí Ramanovské spektroskopie ...

Mates, Tomáš; Fejfar, Antonín; Ledinský, Martin; Vetushka, Aliaksi; Pikna, Peter; Bauerová, Pavla
Fyzikální ústav, 2017

Acta Polytechnica CTU Proceedings 7
Kytýř, Daniel; Zlámal, Petr
2017 - anglický
The International Symposium on Experimental Methods and Numerical Simulation in Engineering Sciences continues the tradition of the Czech-German bilateral symposium founded by prof. Karl-Hans Laermann and prof. Stanislav Holý in 1985. In the following years, the symposium was extensively developed by prof. Josef Jíra. The symposium shall bring together mainly young scientists who are actively involved in experimental solid mechanics, theoretically and practically, in order to exchange experience, to report on the present state-of-art as well as on running research projects, to discuss due questions and problems and to promote the co-operation between individuals as well as between institutions. Therefore in the symposium discussions will play a highly significant role. Klíčová slova: experimental solid mechanics; numerical simulation Plné texty jsou dostupné na jednotlivých ústavech Akademie věd ČR.
Acta Polytechnica CTU Proceedings 7

The International Symposium on Experimental Methods and Numerical Simulation in Engineering Sciences continues the tradition of the Czech-German bilateral symposium founded by prof. Karl-Hans Laermann ...

Kytýř, Daniel; Zlámal, Petr
Ústav teoretické a aplikované mechaniky, 2017

Formování kapek v systému dvou nemísitelných kapalin
Kysela, Bohuš; Konfršt, Jiří; Chára, Zdeněk; Šulc, R.; Jašíková, D.
2017 - český
Velikost kapek při míchání dvou vzájemně nemísitelných kapalin závisí především na působení vnějších sil. Smyková napětí působící na částici v závislosti na fyzikálních parametrech (povrchové napětí, hustota, viskozita) ovlivňují konečnou distribuci velikostí tvořených kapek. V první fázi jsme se pokusili modelovat dvě reálné nemísitelné kapaliny voda-silikonový olej, které jsou dány svými vlastnostmi. A to na jednoduchém případě výtoku z kapiláry, kde jsme se snažili ověřit, zda a jak moc přesně lze modelovat chování tohoto systému s různými odchylkami fyzikálních parametrů. Dále jsme se snažili určit rovnovážné a mezní stavy v závislosti na zadaných fyzikálních vlastnostech. Klíčová slova: VOF; liquid; multiphase Plné texty jsou dostupné na jednotlivých ústavech Akademie věd ČR.
Formování kapek v systému dvou nemísitelných kapalin

Velikost kapek při míchání dvou vzájemně nemísitelných kapalin závisí především na působení vnějších sil. Smyková napětí působící na částici v závislosti na fyzikálních parametrech (povrchové napětí, ...

Kysela, Bohuš; Konfršt, Jiří; Chára, Zdeněk; Šulc, R.; Jašíková, D.
Ústav pro hydrodynamiku, 2017

Paleomagnetic research of the fill in the Kalacka Cave, Poland. Final report. Catalogue of primary paleomagnetic data.
Pruner, Petr; Čížková, Kristýna; Kdýr, Šimon
2017 - anglický
Klíčová slova: palaeomagnetism; caves; Kalacka Cave, Poland Plné texty jsou dostupné na jednotlivých ústavech Akademie věd ČR.
Paleomagnetic research of the fill in the Kalacka Cave, Poland. Final report. Catalogue of primary paleomagnetic data.

Pruner, Petr; Čížková, Kristýna; Kdýr, Šimon
Geologický ústav, 2017

An adaptive recursive multilevel approximate inverse preconditioning: Computation of the Schur complement
Kopal, Jiří; Rozložník, Miroslav; Tůma, Miroslav
2017 - anglický
Plné texty jsou dostupné v digitálním repozitáři Akademie Věd.
An adaptive recursive multilevel approximate inverse preconditioning: Computation of the Schur complement

Kopal, Jiří; Rozložník, Miroslav; Tůma, Miroslav
Ústav informatiky, 2017

Simulace zbytkových optických vad objektivu Merz 124/1477
Rail, Zdeněk; Melich, Zbyněk; Šrajer, Bohdan
2017 - český
Tento objektiv byl na Ústavu fyziky plazmatu,v.v.i., Centru Toptec v Turnově restaurován. Během tohoto procesu jsme získali možnost objektiv na optické lavici přeměřit a vyčíslit jeho zbytkové optické vady. Objektiv byl vyroben kolem roku 1860-1870. This objective lens was renoved in the Institute of Plasma Physics, v.v.i. Center Toptec in Turnov. During the process we got a possibility to measure the objective lens on the optical bench and to evaluate its residual optical aberrations. The objective lens was manufactured in 1860-1870 years Klíčová slova: Achromatic dublet; spherochromatic aberration; coma; dispersion curve of glass; B-F chromatic correction Plné texty jsou dostupné na jednotlivých ústavech Akademie věd ČR.
Simulace zbytkových optických vad objektivu Merz 124/1477

Tento objektiv byl na Ústavu fyziky plazmatu,v.v.i., Centru Toptec v Turnově restaurován. Během tohoto procesu jsme získali možnost objektiv na optické lavici přeměřit a vyčíslit jeho zbytkové optické ...

Rail, Zdeněk; Melich, Zbyněk; Šrajer, Bohdan
Ústav fyziky plazmatu, 2017

Optické parametry význačných refraktorů
Rail, Zdeněk; Jareš, Daniel; Pintr, Pavel; Vápenka, David
2017 - český
V tomto referátu publikujeme optické parametry několika historických dalekohledů, které jsme v literatuře a na webových stránkách získali. Data byla vložena do optického programu ZEMAX, v němž byly vyčísleny jejich zbytkové vady. In this paper we publish the optical parameters of several historic telescopes, which we have found in scientific literature or web pages. Data were inputed into the optical program ZEMAX, which evaluated their residual aberrations. Klíčová slova: Achromatic objective lens; spherochromatic aberration; coma; residual chromatic aberration; Index of refraction; dispersion curve of glass Plné texty jsou dostupné na jednotlivých ústavech Akademie věd ČR.
Optické parametry význačných refraktorů

V tomto referátu publikujeme optické parametry několika historických dalekohledů, které jsme v literatuře a na webových stránkách získali. Data byla vložena do optického programu ZEMAX, v němž byly ...

Rail, Zdeněk; Jareš, Daniel; Pintr, Pavel; Vápenka, David
Ústav fyziky plazmatu, 2017

Historie observatoře Milešovka
Zacharov, Petr, jr.
2017 - český
Horskou stanicí, tj. stanicí s nadmořskou výškou nad 500 m, s nejdelší souvislou řadou měření na našem území\nje meteorologická stanice na hoře Milešovka. Stanice zahájila svou činnost 1. ledna 1905 a délkou svého měření\npatří mezi nejdéle sloužící horské stanice nejen u nás, ale i na světě. Unikátem stanice Milešovka je její umístění\nna vrcholu kuželovité hory ve výšce 837 m n. m. Tato jedinečná poloha je předpokladem toho, že probíhající mě-\nření mají podobný charakter jako měření v okolní atmosféře Klíčová slova: meteorological observatory; Milešovka; meteorological measurements Plné texty jsou dostupné na jednotlivých ústavech Akademie věd ČR.
Historie observatoře Milešovka

Horskou stanicí, tj. stanicí s nadmořskou výškou nad 500 m, s nejdelší souvislou řadou měření na našem území\nje meteorologická stanice na hoře Milešovka. Stanice zahájila svou činnost 1. ledna 1905 a ...

Zacharov, Petr, jr.
Ústav fyziky atmosféry, 2017

Semigroup Structure of Sets of Solutions to Equation X^s = X^m
Porubský, Štefan
2017 - anglický
Using an idempotent semigroup approach we describe the semigroup and group structure of the set of solutions to equation X^m = X^s in successive steps over a periodic commutative semigroup, over multiplicative semigroups of factor rings of residually finite commutative rings and finally over multiplicative semigroups of factor rings of residually finite commutative principal ideal domains. The analysis is done through the use of the maximal subsemigroups and groups corresponding to an idempotent of the corresponding semigroup and in the case of residually finite PID’s employing the available analysis of the Euler-Fermat Theorem as given in [11]. In particular the case when this set of solutions is a union of groups is handled. As a simple application we show a not yet noticed group structure of the set of solutions to x^n = x connected with the message space of RSA cryptosystems and Fermat pseudoprimes. Klíčová slova: set of solutions; idempotent; maximal semigroup corresponding to an idempotent; maximal group corresponding to an idempotent; equation X^s = X^m; finite commutative ring with identity element; residually finite commutative principal ideal domains Plné texty jsou dostupné na jednotlivých ústavech Akademie věd ČR.
Semigroup Structure of Sets of Solutions to Equation X^s = X^m

Using an idempotent semigroup approach we describe the semigroup and group structure of the set of solutions to equation X^m = X^s in successive steps over a periodic commutative semigroup, over ...

Porubský, Štefan
Ústav informatiky, 2017

O službě

NUŠL poskytuje centrální přístup k informacím o šedé literatuře vznikající v ČR v oblastech vědy, výzkumu a vzdělávání. Více informací o šedé literatuře a NUŠL najdete na webu služby.

Vaše náměty a připomínky posílejte na email nusl@techlib.cz

Provozovatel

http://www.techlib.cz

Facebook

Zahraniční báze