Number of found documents: 844
Published from to

Hiding e-beam exposure fields by deterministic 2D pattering
Horáček, Miroslav; Knápek, Alexandr; Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Urbánek, M.; Mika, Filip; Kolařík, Vladimír
2018 - English
The high stability and good current homogeneity in the spot of the e-beam writer is crucial to\nthe exposure quality, particularly in the case of large-area structures when gray-scale\nlithography is used. Even though the deflection field distortion is calibrated regularly and\nbeam focus and beam astigmatism is dynamically corrected over the entire deflection field, we can observe disturbances in the exposed relief.\nRecently, we presented a method that makes use of e–beam exposure imperfection by\nintroducing marginally visible high–frequency diffraction gratings of variable pitch that fill in\nseparate orthogonal exposure fields. The actually presented approach follows up our\nresearch on aperiodic arrangements of optical primitives, especially on the phyllotactic–\nlike arrangement of sub–micron relief optical elements. This approach is extended from the\ndiffraction element arrangement to the higher level of exposure fields arrangements. Keywords: phyllotaxis; electron beam lithography Available at various institutes of the ASCR
Hiding e-beam exposure fields by deterministic 2D pattering

The high stability and good current homogeneity in the spot of the e-beam writer is crucial to\nthe exposure quality, particularly in the case of large-area structures when gray-scale\nlithography is ...

Horáček, Miroslav; Knápek, Alexandr; Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Urbánek, M.; Mika, Filip; Kolařík, Vladimír
Ústav přístrojové techniky, 2018

Synergické efekty svařování laser - TIG
Kubíček, J.; Doležal, P.; Mrňa, Libor; Šebestová, Hana; Horník, Petr
2018 - Czech
Laserové svařování ve srovnání s konvenčními obloukovými metodami je doprovázeno rychlou rychlostí chlazení. To může vést ke vzniku nežádoucí mikrostruktury svařovaného kovu a tepelně postižené zóny některých ocelových tříd, což má negativní dopad na jejich mechanické vlastnosti. Předehřívání je poměrně problematické kvůli vysoké rychlosti svařování laserem. Byla testována možnost předehřívání teplem z obloukového výboje přidruženého hořáku TIG. Přesný držák byl vyroben pro upevnění hořáku na laserovou svařovací hlavu, umožňující umístění TIG elektrody směrem k laserovému paprsku a obrobku. Byla provedena řada ocelových zkoušek S460MC a S700MC s vysokou pevností. Účinek proudění TIG na mikrostrukturální změny byl prokázán. Některé svařovací experimenty byly porovnány s simulacemi svařování SYSWELD. Laser welding compared to conventional arc methods is accompanied by rapid cooling rates. It can lead to the formation of undesirable microstructure of the weld metal and heat affected zone of some steel grades which has a negative impact on their mechanical properties. The preheating is quite problematic because of high speed of laser welding. The possibility of preheating by the heat of the arc discharge of the associated TIG burner has been tested. Precise holder has been fabricated to fix the burner to the laser welding head allowing TIG electrode positioning towards the laser beam and the workpiece. A number of high strength steel S460MC and S700MC welding experiments was performed. The effect of TIG current on microstructural changes has been proven. Some welding experiments were compared to the SYSWELD welding simulations.\n Keywords: laser – TIG welding; cooling rate; HSLA steels; microstructure; tensile strength Available at various institutes of the ASCR
Synergické efekty svařování laser - TIG

Laserové svařování ve srovnání s konvenčními obloukovými metodami je doprovázeno rychlou rychlostí chlazení. To může vést ke vzniku nežádoucí mikrostruktury svařovaného kovu a tepelně postižené zóny ...

Kubíček, J.; Doležal, P.; Mrňa, Libor; Šebestová, Hana; Horník, Petr
Ústav přístrojové techniky, 2018

Porovnání frekvenčních stabilit laserových normálů vlnové délky přes fotonické sítě
Pravdová, Lenka; Hrabina, Jan; Čížek, Martin; Lazar, Josef; Číp, Ondřej
2018 - Czech
V naší práci představujeme metrologickou kampaň, ve které byla porovnávána stabilita normálového laseru na vlnové délce 1540 nm, umístěného na pracovišti CESNET v Praze s vlnovou délkou superkoherentního laseru přenášenou z pracoviště ÚPT v Brně přes fázově koherentní přenosovou linku Brno – Praha délky 306 km. Sestavený acetylenový normál byl převezen na pracoviště CESNET a zároveň byla uvedena do provozu jednotka příjmu koherentní vlny ze superkoherentního laseru stabilizovaného optickým frekvenčním hřebenem a H-maserem na pracovišti ÚPT v Brně. Optickým směšovačem s fotodetektorem byl zaznamenán frekvenční průběh záznějové frekvence mezi acetylenovým optickým frekvenčním normálem a superkoherentním laserem distribuovaným přes fotonickou síť, jehož stabilita je dána H-maserem v 15. řádu. Ověřili jsme, že laserový normál splňuje požadavky Recommendation for the practical realization of the meter standard BIMP. In our work we present a metrological ampaign in which the stability of the 1540 nm normal laser located at the CESNET workplace in Prague was compared with the wavelength of the supercoherent laser transmitted from the ÚPT workplace in Brno via the 306 km phase-coherent transfer line Brno - Prague. The assembled acetylene standard was transferred to the CESNET workplace and a unit receiving coherent wave from the supercoherent laser stabilized by the optical frequency comb and the H-maser at the ISI workplace in Brno was put into operation. The optical frequency mixer with a photodetector recorded a frequency response between the acetylene optical frequency normal and the supercoherent laser distributed over the photonic network whose stability is given by the H-maser in the 15th order. We have verified that the laser normal meets the requirements of the BIMP Recommendation for the Practical Implementation of the Meter Standard. Keywords: metrology; optical normal; photonic networks Available at various institutes of the ASCR
Porovnání frekvenčních stabilit laserových normálů vlnové délky přes fotonické sítě

V naší práci představujeme metrologickou kampaň, ve které byla porovnávána stabilita normálového laseru na vlnové délce 1540 nm, umístěného na pracovišti CESNET v Praze s vlnovou délkou ...

Pravdová, Lenka; Hrabina, Jan; Čížek, Martin; Lazar, Josef; Číp, Ondřej
Ústav přístrojové techniky, 2018

Very low energy electron transmission spectromicroscopy
Daniel, Benjamin; Radlička, Tomáš; Piňos, Jakub; Mikmeková, Šárka; Konvalina, Ivo; Frank, Luděk; Müllerová, Ilona
2018 - English
For more than 25 years, Scanning Low Energy Electron Microscopy (SLEEM) has been\ndeveloped at the Institute of Scientific Instruments (ISI), with several commercially available SEMs adapted with a cathode lens for SLEEM use, as well as a dedicated self-built UHVSLEEM setup.\nFor a better understanding of contrast formation at low energies, especially at very low energies below 50 eV, where the local density of states plays an important role, more general knowledge about the interaction of (very) low energy electrons with solids is required. This will be achieved using a newly developed ultra-high vacuum (UHV SLEEM) setup which includes several enhancements compared to other available machines. Data processing is presented in, and processed data will be further used and tested with the Monte Carlosimulation package BRUCE, which is being developed by Werner et al. at TU Vienna. Keywords: low energy scanning electron microscopy; electron microscopy; time of flight; electron energy lost spectroscopy Available at various institutes of the ASCR
Very low energy electron transmission spectromicroscopy

For more than 25 years, Scanning Low Energy Electron Microscopy (SLEEM) has been\ndeveloped at the Institute of Scientific Instruments (ISI), with several commercially available SEMs adapted with a ...

Daniel, Benjamin; Radlička, Tomáš; Piňos, Jakub; Mikmeková, Šárka; Konvalina, Ivo; Frank, Luděk; Müllerová, Ilona
Ústav přístrojové techniky, 2018

STEM modes in SEM
Konvalina, Ivo; Paták, Aleš; Mikmeková, Eliška; Mika, Filip; Müllerová, Ilona
2018 - English
The segmented semiconductor STEM detector in the Magellan 400 FEG SEM microscope\n(https://www.fei.com/) is used to detect transmitted electrons (TEs) and allows observing\nsamples in four imaging modes. Two modes of objective lens, namely high resolution (HR)\nand ultra-high resolution (UHR), differ by their resolution and by the presence or absence of\na magnetic field around the sample. If the beam deceleration (BD) mode is chosen, then\nan electrostatic field around the sample is added and two further microscope modes HR + BD\nand UHR + BD, become available. Trajectories of TEs are studied with regard to their angular\nand energy distribution in each mode in this work.\n Keywords: SEM; STEM Available at various institutes of the ASCR
STEM modes in SEM

The segmented semiconductor STEM detector in the Magellan 400 FEG SEM microscope\n(https://www.fei.com/) is used to detect transmitted electrons (TEs) and allows observing\nsamples in four imaging ...

Konvalina, Ivo; Paták, Aleš; Mikmeková, Eliška; Mika, Filip; Müllerová, Ilona
Ústav přístrojové techniky, 2018

Creation of electron vortex beams using the holographic reconstruction method in a scanning electron microscope
Řiháček, Tomáš; Horák, M.; Schachinger, T.; Matějka, Milan; Mika, Filip; Müllerová, Ilona
2018 - English
Electron vortex beams (EVB) were theoretically predicted in 2007 and first experimentally\ncreated in 2010. Although they attracted attention of many researchers, their\ninvestigation takes place almost solely in connection with transmission electron microscopes (TEM). On the other hand, although scanning electron microscopes (SEM) may provide some advantages for EVB applications, only little attention has been dedicated to them. Therefore, the aim of this work is to create electron vortices in SEM at energies of several keV. Keywords: electron vortex beams; scanning electron microscopy; electron diffraction Available at various institutes of the ASCR
Creation of electron vortex beams using the holographic reconstruction method in a scanning electron microscope

Electron vortex beams (EVB) were theoretically predicted in 2007 and first experimentally\ncreated in 2010. Although they attracted attention of many researchers, their\ninvestigation takes place ...

Řiháček, Tomáš; Horák, M.; Schachinger, T.; Matějka, Milan; Mika, Filip; Müllerová, Ilona
Ústav přístrojové techniky, 2018

Locking in on large volume light-sheet microscopy
Vettenburg, T.; Dalgarno, H.I.C.; Nylk, J.; Coll-Lladó, C.; Ferrier, D.E.K.; Čižmár, Tomáš; Gunn-Moore, F.J.; Dholakia, K.; Corral, A.; Rodriguez-Pulido, A.; Flors, C.; Ripoll, J.
2018 - English
Fluorescence light-sheet microscopy is increasingly adopted by developmental biologists to study how cells divide and differentiate to form organs and even entire organisms. The lightsheet microscope differs from a conventional microscope in that the specimen is illuminated by a plane of light orthogonal to the detection axis, thus keeping the out-of-focus areas dark while minimizing any potentially detrimental exposure of the sample. The light-sheet microscope has been found to be the ideal instrument for long-term and non-invasive studies of intact, and therefore three-dimensional, fluorescent samples. Keywords: cellular imaging; fluorescence imaging; light-sheet microscopy Available at various institutes of the ASCR
Locking in on large volume light-sheet microscopy

Fluorescence light-sheet microscopy is increasingly adopted by developmental biologists to study how cells divide and differentiate to form organs and even entire organisms. The lightsheet microscope ...

Vettenburg, T.; Dalgarno, H.I.C.; Nylk, J.; Coll-Lladó, C.; Ferrier, D.E.K.; Čižmár, Tomáš; Gunn-Moore, F.J.; Dholakia, K.; Corral, A.; Rodriguez-Pulido, A.; Flors, C.; Ripoll, J.
Ústav přístrojové techniky, 2018

Měření laserového svařovacího procesu vysokorychlostní kamerou a fotodiodou
Horník, Petr; Mrňa, L.; Šebestová, Hana
2018 - Czech
Systém pro monitorování laserového svařovacího procesu lze realizovat opticky. Řešení pomocí fotodiod snímajících svařované místo má výhodu v jednoduchosti a nízkých nákladech, potýká se však s mnoha výzvami. Při snímání více fotodiodami byla zjištěna závislost měřené intenzity na poloze fotodiody. Následně byly naměřené hodnoty porovnány se snímky vysokorychlostní kamery. S využití korelačního koeficientu byla na snímcích určena oblast poskytující stejnou informaci jako měření fotodiodou. Laser welding monitoring system can be realized optically. The solution with photodiode sensing welded area has advantage of simplicity and low cost but faces many challenges. Multi-photodiode measurement show dependency of the measured intensity on the photodiode position. Subsequently, the measured values were compared with high-speed camera images. Using the correlation coefficient, the area providing the same information as photodiode measurement was determined in the images. Keywords: laser welding; process monitoring Available at various institutes of the ASCR
Měření laserového svařovacího procesu vysokorychlostní kamerou a fotodiodou

Systém pro monitorování laserového svařovacího procesu lze realizovat opticky. Řešení pomocí fotodiod snímajících svařované místo má výhodu v jednoduchosti a nízkých nákladech, potýká se však s mnoha ...

Horník, Petr; Mrňa, L.; Šebestová, Hana
Ústav přístrojové techniky, 2018

Trendy a tendence v průmyslových laserových aplikacích
Mrňa, Libor; Horník, Petr; Šebestová, Hana; Pavelka, Jan
2018 - Czech
Výzkum proudění pro oblast laserového dělení materiálů. Hybridní laserové svařování pro výrobu parních turbín. Využití laseru pro 3D tisk kovových materiálů a související problematika. Flow research for laser cutting of materials. Hybrid laser welding for the production of steam turbines. Laser use for 3D printing of metallic materials and related issues. Keywords: laser cutting; schlieren visualisation; laser welding; 3D laser printing Available at various institutes of the ASCR
Trendy a tendence v průmyslových laserových aplikacích

Výzkum proudění pro oblast laserového dělení materiálů. Hybridní laserové svařování pro výrobu parních turbín. Využití laseru pro 3D tisk kovových materiálů a související problematika....

Mrňa, Libor; Horník, Petr; Šebestová, Hana; Pavelka, Jan
Ústav přístrojové techniky, 2018

Silver micro drop structured twice around the earth
Meluzín, Petr; Tryhuk, V.; Horáček, Miroslav; Knápek, Alexandr; Krátký, Stanislav; Matějka, Milan; Kolařík, Vladimír
2018 - English
Planar micro structuring of thin metallic layers allows to achieve required surface properties of metallic layers covering bulk materials. Recently, the arrangement of micro holes or pillars placed around the primary spiral according to a phyllotactic model was presented. This deterministically aperiodic planar arrangement was used for benchmarking purposes of the e-beam writer patterning. This arrangement based on single primary spiral and a variety of derived secondary spirals has several interesting properties. One of them is a very low ratio between the area populated by individual micro elements and the length of the primary phyllotactic spiral. This paper presents analysis of the phyllotactic spiral length and the rising gradient at the spiral outer edge. The practical part of the presented work deals with the patterning of a thin silver layer deposited on the silicon or glass substrates using e-beam pattern generation, lithography techniques and related technologies. An interesting impact of the mentioned spiral properties on the e-beam writing strategies and the exposure ordering strategy are also discussed. Keywords: metallic thin layer; planar surface structure; phyllotactic spiral; e-beam writer Available at various institutes of the ASCR
Silver micro drop structured twice around the earth

Planar micro structuring of thin metallic layers allows to achieve required surface properties of metallic layers covering bulk materials. Recently, the arrangement of micro holes or pillars placed ...

Meluzín, Petr; Tryhuk, V.; Horáček, Miroslav; Knápek, Alexandr; Krátký, Stanislav; Matějka, Milan; Kolařík, Vladimír
Ústav přístrojové techniky, 2018

About project

NRGL provides central access to information on grey literature produced in the Czech Republic in the fields of science, research and education. You can find more information about grey literature and NRGL at service web

Send your suggestions and comments to nusl@techlib.cz

Provider

http://www.techlib.cz

Facebook

Other bases